昆明某半导体材料基带芯片生所产生产商,晶圆代加工流程中所产生含硅、氟的异常污焦化废水 ,设计方案清理投资规模1200吨/日。污焦化废水 因素简化,带有微米级硅颗粒物及氢氧化钠,传统意义清理做法无发考核标准。
废渣含量及源于
主要的感染物
:固体硅(100-500nm比表面积)、氟正离子(200-300mg/L)、异丙醇
源于工艺程序
:晶圆刻蚀焦化电镀废水(45%)、CMP化工机器磨光焦化电镀废水(40%)、装备喷洗水(15%)
清理施工工艺程序
科技创新应用"药剂学奠定+特殊工种膜提取"枝术路线图:
钙盐放置
:加药氯化钙去掉氟亚铁离子(绘制CaF2悠长岁月中)
二沉池反映
:塑料二沉池剂进行橡胶胶体部分硅脱稳
管式微滤
:0.1μm管径膜挤占微细粒子
反渗透膜到体系
:脱盐率>98%,回收并率75%
蒸馏成果
:浓水段完成氟化物零排出
终结感觉
氟化物氧化还原电位:<8mg/L(高出中国1级准则10mg/L)
硅含锌量:<5mg/L
水資源中水回用率:70%在冷却水塔皮肤补水
垃圾减轻药量:蒸发器杂质量较中国传统的工艺抑制60%