某半导生产加工的企业因晶圆洗环节造成含氨焦化废水,容量200吨/天。焦化废自来水中除化学需氧量外还含氟化物和微量分析天价属,办理关卡大。本地废气排放基准条件化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生活污水材料及来历
晶圆家电清洗废水处理方法(首要起源):含挥发酚200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺生活污水:含微量分析铜、镍等高价属,pH值震荡大
CMP碾磨污水:含硅粒状及高锰酸盐指数
处里加工过程流程图
运用"催化沉垫+膜脱离+折点氯化"团体鑫霖环保:
预治疗
:添加CaCl2除氟,抑制pH在7.5-8.
反渗透装置系统的
:清掉0.01μm上面的粒状物
ro反渗透工作会更果汁
:将挥发酚高浓至1000mg/L之内
折点氯化
:精准度把控氯加药系统量,将氟化物图片转换为氢气
铁离子交流
:得到保障天价属未达标
结果英文功能
氟化物增强<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属份量少于检测工具限
水循环率达75%
生活污水会产生量抑制40%