该厂为85英寸晶圆分娩线配套方案的超软水操作系统，定期形成含硅废水正确处理150吨。废水正确处理中虽无天价属，但硅含铁高易积垢，且电阻值率需达到18MΩ·cm就可以行业废水正确处理。原本有正确处工院艺没法够满足新颁行的《光电行业水的污染废气规则》（GB39731-2020）特殊废气卫生防护距离。 废水处理组分亮点 主要水空气污染物 ：固体硅（200-300mg/L）、颗粒状硅（比表面积0.1-1μm） 特种追求 ：TOC<10μg/L，硼浓度<5μg/L 水质检测性状 ：低导电率（<50μS/cm）但硅无机化合物型态繁复 工作生产工艺程序流程 特色化使用"梯级膜分割+电去亚铁离子"结构方法： 微滤预加工 ：1μm陶瓷图片膜屏蔽大粒状硅，通量达到80LMH 阳离子相互交换不饱和树脂 ：D201大孔不饱和树脂选取性吸收硅酸原子核 两级RO整体 ：一、段利用率60%，然后段适用高脱硼膜pcb板 EDI电去阳离子 ：电压电流黏度2A/m²，延续弄掉稳定度阳离子 太阳光的紫外线除臭 ：254nm紫外光线标准容量40mJ/cm² 技艺工作亮点 制作专用箱阻硅剂（生产胺类符合物），延长时间膜水污染频次3倍 EDI方案创新性流道规划，硅彻底清除率上升至99.8% 在线平台硅研究仪（测试依据0.1-500μg/L）推动精淮掌控 执行认真总结 经最后方探测： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼浓度从8μg/L降到0.3μg/L 系统性收购 率从原40%完善至68% 膜换新阶段延迟至5年，年运作成本低减小35%