某半导体设备厂在产量整个过程中操作硝酸钠系定影液，造成高密度含NOx废气，日加工产水量50吨。废气中含NO2-高达到2000mg/L，且包含少量有机化学光刻胶基本成分，加工正确处理难度很大很高。 2. 污水的成分及主要来源 定影环节废弃物（重点弄脏源） 晶圆洁净生产废水 尾气清洗塔排水障碍 3. 处理工艺设计流量 用到"高級氧化物+二级生物工程操作"多元化加工制作工艺 ： 二氧化反应碳氧化反应 ：可以通过什么是臭氧时有所产生器所产生O3，将难光降解有机会物转换为小原子有机化合物，此外将NO2-钝化为NO3-。 生物工程膜作用器（MBR） ： 弟一级：环世界区域环境下添加甲醇当做碳源，促使反硝化细菌发应 然后级：好氧生物工程膜进十步化学降解有机质物 电电学深入正确处理 ：按照钛基涂覆电级，顺利通过电解法做用彻底解决拆分多余污染问题物。 4. 后面功能 NOx总氮调至8mg/L下述 COD保持稳定在30mg/L左右 生产废水使用率达60% 操作系统操作热耗掌握在3.5kWh/吨水，较普通新工艺工业节能20%。